伺服氣缸：?125、?160、?200、?250、?320

可實現氣缸的多點定位、控制 響應快、重復定位精度高

單元化帶來的簡易維護（可更換閥單元、先導閥、控制器組件、密封圈組件等）

簡易的初始設定

搭載自我診斷功能（LED亮燈和信號輸出）

斷氣、斷電時可實現緊急停止

安裝：q根據使用環境、負載、條件，由于定位控制，可能會產生振動。請在實機上進行驗證，確保對氣缸的振動有充分的強度保持后再使用。w安裝時請避免對活塞桿施加超過允許橫向負載的橫向負載。如果施加超過允許橫向負載的橫向負載，可能會導致目標位置運行時的重復停止定位精度下降或活塞桿動作不良。另外，密封圈或缸筒與活塞的金屬部分接觸后，可能會因偏磨耗導致空氣泄漏，或因軸承部的加速磨耗導致壽命降低。允許橫向負載請參見P.4 表2 。e在活塞桿前端安裝工件時，請將活塞桿與工件的軸芯對齊后連接。如果活塞桿與工件的軸芯未對齊，則會產生因偏芯導致的橫向負載，或產生與w項同樣的現象。r安裝本體時，請勿向氣缸部的無桿側缸蓋和桿側缸蓋之間設置的配管管路、蓋筒、電源插頭等施加外力。如果對配管管路施加過大外力，則配管管路會破損，導致故障。缸徑160以上的無桿側缸蓋上設置有吊環螺栓安裝螺釘孔，因此請在該螺釘孔上安裝吊環螺栓，通過吊裝作業等移動本產品并進行安裝。
使用：q接通電源時、從緊急停止恢復時、切換運行模式時，根據設定，活塞桿可能會突然伸縮，請注意。w請避免在產生結露的環境中使用。在低溫條件下使用后，如果移動到常溫的場所，溫度會急劇上升，產生結露。如果結露產生的水滴附著在內部基板上，則會引起電器短路，引起故障。